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■ 柵極電壓V_GS：0 - ±40V

■ 漏極電壓V_DS：0 - ±3000V

■ 四寄生參數(shù)(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)同屏一鍵測量及顯示

■ 一體化設(shè)計(jì)：LCR+V_GS低壓源+V_DS高壓源+通道切換+上位機(jī)軟件

■ 單管器件（點(diǎn)測）、模組器件（列表掃描）、曲線掃描(選件)三種測試方式

■ 標(biāo)配2通道，可擴(kuò)展至6通道，可測單管、多芯或模組器件（TH513僅1通道）

■ CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描

■ 電容快速充電技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速測試

■ 接觸檢查Cont

■ 通斷測試OP_SH

■ 自動(dòng)延時(shí)設(shè)置

■ Crss Plus功能：解決高頻下Crss負(fù)值問題

■ 高壓擊穿保護(hù)：DS瞬間短路，保護(hù)儀器

■ Interlock安全鎖功能：增加高壓防護(hù)墻（僅TH513）

■ Cs-V功能：二極管結(jié)電容CV特性測試分析

■ 等效模式轉(zhuǎn)換功能，可選Cs或Cp模式

■ 10檔分選

■ 柵極電壓V_GS：0 - ±40V

■ 漏極電壓V_DS：0 - ±200V

■ 四寄生參數(shù)(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)同屏一鍵測量及顯示

■ 一體化設(shè)計(jì)：LCR+V_GS低壓源+V_DS高壓源+通道切換+上位機(jī)軟件

■ 單管器件（點(diǎn)測）、模組器件（列表掃描）、曲線掃描(選件)三種測試方式

■ 標(biāo)配2通道，可擴(kuò)展至6通道，可測單管、多芯或模組器件（TH513僅1通道）

■ CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描

■ 電容快速充電技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速測試

■ 接觸檢查Cont

■ 通斷測試OP_SH

■ 自動(dòng)延時(shí)設(shè)置

■ Crss Plus功能：解決高頻下Crss負(fù)值問題

■ 高壓擊穿保護(hù)：DS瞬間短路，保護(hù)儀器

■ Interlock安全鎖功能：增加高壓防護(hù)墻（僅TH513）

■ Cs-V功能：二極管結(jié)電容CV特性測試分析

■ 等效模式轉(zhuǎn)換功能，可選Cs或Cp模式

■ 10檔分選

■ 柵極電壓V_GS：0 - ±40V

■ 漏極電壓V_DS：0 - ±1500V

■ 四寄生參數(shù)(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)同屏一鍵測量及顯示

■ 一體化設(shè)計(jì)：LCR+V_GS低壓源+V_DS高壓源+通道切換+上位機(jī)軟件

■ 單管器件（點(diǎn)測）、模組器件（列表掃描）、曲線掃描(選件)三種測試方式

■ 標(biāo)配2通道，可擴(kuò)展至6通道，可測單管、多芯或模組器件（TH513僅1通道）

■ CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描

■ 電容快速充電技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速測試

■ 接觸檢查Cont

■ 通斷測試OP_SH

■ 自動(dòng)延時(shí)設(shè)置

■ Crss Plus功能：解決高頻下Crss負(fù)值問題

■ 高壓擊穿保護(hù)：DS瞬間短路，保護(hù)儀器

■ Interlock安全鎖功能：增加高壓防護(hù)墻（僅TH513）

■ Cs-V功能：二極管結(jié)電容CV特性測試分析

■ 等效模式轉(zhuǎn)換功能，可選Cs或Cp模式

■ 10檔分選

■ 提供固定靜態(tài)偏置點(diǎn)進(jìn)行窄脈沖動(dòng)態(tài)IV測量，滿足準(zhǔn)等溫測試條件

■ 實(shí)現(xiàn)器件寄生效應(yīng)的量化測量與數(shù)據(jù)運(yùn)算

■ 脈寬最小低至200ns

■ 具有內(nèi)部和外部同步能力

■ 脈沖時(shí)序設(shè)置和時(shí)域波形記錄

■ 儀器設(shè)備可與socket&半自動(dòng)探針臺(tái)互聯(lián)，進(jìn)行封裝以及晶圓級(jí)芯片測試

?電流到200A

■ 單通道和雙通道 N/P或組合器件測試   (MOSFET、IGBT以及二極管） 

■ 可測試高達(dá)2500V雪崩電壓、200A峰值電流等級(jí)設(shè)備 

■ 支持單脈沖雪崩測試（EAS)、重復(fù)雪崩能量測試(EAR）、 重復(fù)脈沖至失效測試(RPF) 

■ 高速校準(zhǔn)DAC可提升測試精度 

■ 用戶可調(diào)節(jié)的電源電壓(10V至150V)穩(wěn)定可靠 

■ 漏極、源極接觸檢查電路可檢測20Ω以下的接觸電阻，提 供報(bào)錯(cuò)提示(LED) 

■ 可設(shè)柵極驅(qū)動(dòng)電壓(最大電壓差:30V，最大電壓值:28V)適 應(yīng)不同被測件所需 

■ 可在雪崩前、雪崩后進(jìn)行可調(diào)值的泄漏測試、以確定被測 件當(dāng)前狀態(tài) 

■ 高速固態(tài)開關(guān)、帶故障檢測功能 

■ 高精度的電流和電壓波形捕捉以及雪崩持續(xù)時(shí)間捕捉 

■  7寸24位色TF LCD電容式觸摸屏，中英文可選操作界面， 用于單機(jī)操作、輸入測試規(guī)格以及提供測試數(shù)據(jù)顯示。 

■ 提供指令用于用戶將屏幕信息存儲(chǔ)于U盤 

■ 儀器有開機(jī)自檢和在線自檢功能、為用戶排查儀器內(nèi)部故 障問題 

■ 配備簡單自動(dòng)校準(zhǔn)程序，用戶可現(xiàn)場進(jìn)行校準(zhǔn) 

■ 配備多種接口:用于遠(yuǎn)程測試控制的GPIB接口、前后面板各配備一個(gè)的高速串行接口、支持高速傳輸數(shù)據(jù)的LAN 口。 LAN口不僅可用于遠(yuǎn)程測試控制,在用戶需要觀測即時(shí) 測試波形時(shí)，可使用 LAN口搭配上位機(jī)程序查看每一一次 的波形數(shù)據(jù)

■ 可與TH530-01 可編程電感負(fù)載箱(0.01 至159.9mH)或外部電感器配合使用 

■ 可外接示波器觸發(fā)器輸出，同步可視化雪崩測試過程，用 于準(zhǔn)確測量雪崩時(shí)間

■ 單通道和雙通道 N/P或組合器件測試   (MOSFET、IGBT以及二極管） 

■ 可測試高達(dá)2500V雪崩電壓、200A峰值電流等級(jí)設(shè)備 

■ 支持單脈沖雪崩測試（EAS)、重復(fù)雪崩能量測試(EAR）、 重復(fù)脈沖至失效測試(RPF) 

■ 高速校準(zhǔn)DAC可提升測試精度 

■ 用戶可調(diào)節(jié)的電源電壓(10V至150V)穩(wěn)定可靠 

■ 漏極、源極接觸檢查電路可檢測20Ω以下的接觸電阻，提 供報(bào)錯(cuò)提示(LED) 

■ 可設(shè)柵極驅(qū)動(dòng)電壓(最大電壓差:30V，最大電壓值:28V)適 應(yīng)不同被測件所需 

■ 可在雪崩前、雪崩后進(jìn)行可調(diào)值的泄漏測試、以確定被測 件當(dāng)前狀態(tài) 

■ 高速固態(tài)開關(guān)、帶故障檢測功能 

■ 高精度的電流和電壓波形捕捉以及雪崩持續(xù)時(shí)間捕捉 

■  7寸24位色TF LCD電容式觸摸屏，中英文可選操作界面， 用于單機(jī)操作、輸入測試規(guī)格以及提供測試數(shù)據(jù)顯示。 

■ 提供指令用于用戶將屏幕信息存儲(chǔ)于U盤 

■ 儀器有開機(jī)自檢和在線自檢功能、為用戶排查儀器內(nèi)部故 障問題 

■ 配備簡單自動(dòng)校準(zhǔn)程序，用戶可現(xiàn)場進(jìn)行校準(zhǔn) 

■ 配備多種接口:用于遠(yuǎn)程測試控制的GPIB接口、前后面板各配備一個(gè)的高速串行接口、支持高速傳輸數(shù)據(jù)的LAN 口。 LAN口不僅可用于遠(yuǎn)程測試控制,在用戶需要觀測即時(shí) 測試波形時(shí)，可使用 LAN口搭配上位機(jī)程序查看每一一次 的波形數(shù)據(jù)

■ 可與TH530-01 可編程電感負(fù)載箱(0.01 至159.9mH)或外部電感器配合使用 

■ 可外接示波器觸發(fā)器輸出，同步可視化雪崩測試過程，用 于準(zhǔn)確測量雪崩時(shí)間